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产品说明: 对应多种尺寸组合 奥林巴斯晶圆搬送机 AL120 我们推出了200mm zhuan用型、200 mm/150mm兼用型和150 mm型(对应小于150mm的晶圆)的3种工具显微镜型号。除此以外,您还可以根据检...
产品说明:对应多种尺寸组合 奥林巴斯晶圆搬送机 AL120 我们推出了200mm zhuan用型、200 mm/150mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种工具显微镜型号。除此以外,您还可以根据检查模式,选用微观检查zhuan用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。 晶圆尺寸•厚度对应表 薄片检查 对应薄片制
晶圆尺寸•厚度对应表
薄片检查
高度实用性
背面宏观360゜旋转
操作便捷
晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认。
AL120工具显微镜使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度。
高度可靠性
坚固、耐y的显微镜底座
人机工程学设计的载物台
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