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BROOKS 9861 系列高温质量流量控制器

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更新时间：2022-10-27 10:20:03浏览次数：112次

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产品简介

9861系列高温质量流量控制器和仪表提升高温流量控制的准确性和效率布鲁克斯仪器9861系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容过程气体和蒸汽

详细介绍

9861 系列高温质量流量控制器和仪表

提升高温流量控制的准确性和效率

布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容过程气体和蒸汽。 IsoSensor™ 是一种稳定性的流量传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。

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