高性能数字MFC“DF-250C系列"的全金属型号“DF-550C"发布！
金属密封结构可以测量和控制半导体工艺气体和其他腐蚀性气体。
- 通过新型螺线管改善响应速度，在所有流量区域实现1秒以内高速响应
- 不锈钢密封使其支持高活性气体
- 10SCCM~10SLM序列
- 可通过2个通信端口进行菊花链连接
- 配备RS-485通讯功能标准
- 支持RoHS.CE规格
DF-550C标准规范
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | |
| 目标气体（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未记载的气体换算成N2进行校正） | |
| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | |
| 响应能力 | 总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.） | |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | |
| 再现性 | ±0.25%F.S. | |
| 工作压差（* 4） | 50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） | |
| 入口压力 | 500kPa(G) | |
| 耐压 | 980kPa(G) | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | |
| 温度 | 使用温度 | 5～50℃ |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | |
| 允许储存温度 | -10～60℃ | |
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | |
| 气体接触材料 | SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co | |
| 电气连接 | D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2 | |
| 流量设定信号 | 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） | |
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps） | |
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA | |
| 接头 | 相当于1/4 VCR | |
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | |
| 重量（* 9） | 约1100g | |
（* 1）应为干燥气体，无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。
（* 2）流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。
（* 3）对于流量范围（满量程）的精度。
（* 4）工作压差可能因规格而异。
尺寸图
接线连接
