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FS4001系列空气氧气氮气流量传感器产品出销

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更新时间：2023-10-01 16:34:55浏览次数：59次

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产品简介

产品简介：siargoltdFS4001系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的

详细介绍

产品简介：
siargo ltd FS4001系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
FS4001系列气体质量流量传感器产品特点：
- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快

技术参数

性能参数	FS4003	FS4008	单位
通径	3	8	mm
*流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重复性	0.75		%
零点输出飘移	±30		mV
输出飘移	0.12		%/^oC
响应时间	100		ms
工作电源	12V-24Vdc,100mA
输出方式	线性，RS232/模拟电压0.5V~4.5Vdc
*流量压损	100	600	pa
*工作压力	0.5		MPa
工作温度	-10 ~ +55		^oC
存储温度	-20 ~ +65		^oC
工作湿度	<>（无结冰、无凝露）
机械接口	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式	空气（或其他气体），20^oC，101.325kPa
重量	57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)		g