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荷兰 真空快速退火炉 AS-One100/150

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市科时达电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/2/19 20:25:04
  • 访问次数38
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深圳市科时达电子科技有限公司创建于2011年,经过十年的发展,已经成长为一家专注于电子材料、半导体仪器设备、医疗设备三大产品领域的,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工电子材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等。科技创新是科时达公司的核心竞争力。我们拥有一支高度专业化的技术研发和管理团队,建立了国内的实验室和光电研究中心,与多家科研机构与大专院校开展“产、学、研”合作,成功开发出一系列具有高科技含量的市场产品,公司产品通国内科研机构的产品认证。同时,公司拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系,在电子装备、医疗设备、产业基础、网络安全等领域占据技术主导地位,肩负着支撑科技自立自强、推进国内科技现代化、加快数字经济发展、服务社会民生的重要职责。聚焦“三大定位”主责,科时达公司按照“做优电子装备、做大仪器设备、做精产业基础、做强研发销售”的总体布局,持续优化核心业务体系,推动企业在科技现代化建设、现代产业体系建设的核心关键技术节点上“布点”,在产业链价值链创新链关键环节上“成线”,在关系国家、国民经济命脉和国计民生关键领域上“控面”。做强电子装备,重点发展利用声、光、电磁信号进行信息感知、传输、运用等的系统级装备和产品,打造全域多维一体新一代电子装备,不断夯实在高校科研领域和高科枝企业的提供地位。做大仪器设备,重点发展半导体仪器基础设施和医疗设备应用与整体解决方案,全面支撑基于网络信息体系的联合和全域能力提升、国家治理能力提升和数字化发展。做精产业基础,重点打造形成电子基础产品科研和生产的基础支撑能力,以夯实产业链供应链自主可控能力为根本目标,推动以“科时达基因”为核心的销售集群式发展。做强研发销售,致力于电子产品的研发。科时达公司是一家企业,多年来公司研发团队致力于电子材料、半导体仪器和医疗设备的研发。同时企业还致力于将产品做好国内外市场销售,在整体销售模式中具备一套完整的销售体系。以客户需求为导向,以质量求生存,科时达公司以超凡的品质和优良的服务,获得国内外市场的一致认可;公司营销网络覆盖,产品世界各地,目前已经成为国内电子科技行业中重要的生产制造基地。
真空快速退火炉AS-OneAS-One是一种通用的RTP系统,可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。温度1500 ℃,升温速率200℃/Second。
荷兰 真空快速退火炉 AS-One100/150 产品信息

真空快速退火炉AS-One



AS-One是一种通用的RTP系统,可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。

可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。

温度1500 ℃,升温速率200/Second

全程PC软件控制升温程序,保证温度不过冲,控温精度准确。


应用:

RTA(快速热退火)

RTO(快速热氧化)

欧姆接触退火

植入退火

石墨烯和hBN的快速热化学气相沉积RTCVD

硒化,硫化

结晶和致密化


产品特点:

1 红外卤素灯管加热,冷却采用风冷(低噪音水平,无需压缩空气);

2、加热由功率控制而非电压控制,避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题,保证了良好的重现性及均温性,即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果;

3、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢;

冷壁水冷技术优点在于:1、无记忆,2、工艺重复性高,3、冷却速度快;

4、反应腔室的设计,气体的进入口设计在wafer的表面,避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性;

5、快速数字PID控温;

6、热电偶配合高温计控温,测试样品的温度,控温精准;

7、大气和真空工艺均适合,净化气体配针阀;

8、最多5路工艺气体,配数字质量流量控制器;

9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度;

10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计,用于小样品测试;

11、可选配分子泵,用于高真空测试;

产品标准配置及规格参数:

1、样品尺寸:AS-One1004-inchAS-One150 6-inch

2、温度范围:AS-One100室温~1250 ℃;(室温~1500 ℃可选)

            AS-One150室温~1200 ℃;(室温~1300 ℃可选)

3、升温速率:AS-One100 0.1 ~250 /s

            AS-One150 0.1 ~200 /s

4、温度控制:快速数字PID控制;

5、热电偶:2K型热电偶;

6、低温高温计温度范围:150~1100 ℃;

7、高温高温计温度范围:400~1500 ℃;

8、工艺气体气路配质量流量计;

9、配置真空泵及真空规;


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