开始的蚀刻技术性是运用特殊的水溶液与塑料薄膜间所开展的化学变化来除去塑料薄膜未被光阻遮盖的一部分，而做到蚀刻的目地，这类蚀刻方法也就是五金蚀刻设备厂家说白了的湿试蚀刻。由于湿试蚀刻是运用化学变化来开展塑料薄膜的除去，而化学变化自身没有专一性，因而湿试蚀刻全过程为等抗逆性，一般而言此方法不能界定3μm下列的图形界限，但针对3μm之上的图形界限界定湿试蚀刻依然为一可挑选选用的技术性。
湿试蚀刻往往在微电子技术制作过程中被普遍的选用乃因为其具备降低成本、很高的可靠性、增产能及优异的蚀刻挑选比等优势。但相对性于干试蚀刻，除开无法定义偏细的图形界限外，湿试蚀刻仍有下列的缺陷：
1)需花销较高成本费的反映水溶液及双蒸水；
2)化学品解决时工作人员所遭受的安全隐患；
3)光阻粘合力难题；
4)汽泡产生及有机化学蚀刻液没法与圆晶表层触碰所导致的不及不匀称的蚀刻；
5)有机废气及潜在性的可燃性。
湿试蚀刻全过程可分成三个流程：
1)有机化学蚀刻液外扩散至待蚀刻原材料之表层；
2)蚀刻液与待蚀刻原材料产生化学变化；
3)反映后之物质从蚀刻原材料之表层外扩散至水溶液中，并随水溶液排出来(3)。三个流程中开展比较慢者为速度操纵流程，换句话说该流程的化学反应速率即是全部反映之速度。
五金蚀刻设备厂家强调绝大部分的蚀刻全过程包括了一个或好几个化学变化流程，各种各样形状的反映都是有很有可能产生，但常碰到的反映是将待蚀刻层表层先给予空气氧化，再将此空气氧化层融解，并随水溶液排出来，这般不断开展以做到蚀刻的实际效果。如蚀刻硅、铝时就是运用此类化学变化方法。
