苏州高控科技有限公司
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Aerotech QNP系列压电纳米定位平台
关键词：纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台
Aerotech QNP系列压电纳米定位平台详细介绍
Aerotech QNP系列压电纳米定位平台
关键词：纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台
QNP系列压电纳米定位平台以紧凑，高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。
紧凑包装中的高质量
QNP压电平台受精密挠曲的指导，该挠曲使用有限元分析进行了优化，以确保高刚度和较长的设备寿命。终的设计提供了出色的刚度和谐振频率，从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外，集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量，从而实现了出色的静态和动态多轴性能。
高分辨率和定位精度
所有QNP压电级均采用*的电容传感器设计，提供闭环反馈选项，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现出色的精度和可重复性。
超精密控制
与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性（抖动）以及高定位带宽。
QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级定位分辨率，但又不需要定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。
可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与转接板一起安装。
所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。
设计特点
· 行程范围从100μm到600μm
· 设备寿命长
· 高精度，无摩擦的挠性导向系统
· 借助直接计量电容传感器，可实现高达0.007％的出色定位分辨率和线性度
· 与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性
· 开环和真空版本
Model | QNP40XY-100 | QNP50XY-250 | QNP60XY-500 | |
Closed-Loop Travel | 100 ?m | 250 ?m | 500 ?m | |
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1) | 120 ?m | 300 ?m | 600 ?m | |
Resolution(2) | Closed-Loop | 0.30 nm | 0.50 nm | 0.90 nm |
Open-Loop | 0.15 nm | 0.20 nm | 0.40 nm | |
Linearity(3,4) | 0.01% | 0.01% | 0.007% | |
Bidirectional Repeatability(5) | 2 nm | 2 nm | 5 nm | |
Pitch/Yaw | 6 ?rad (1.2 arc sec) | 6 ?rad (1.2 arc sec) | 12 ?rad (2.5 arc sec) | |
Stiffness (Direction of Motion)(6) | 1.05 N/?m | 0.36 N/?m | 0.24 N/?m | |
Unloaded Resonant Frequency(6) | Top Axis | 885 Hz | 445 Hz | 315 Hz |
Bottom Axis | 635 Hz | 295 Hz | 200 Hz | |
Resonant Frequency (50 gram load)(6) | Top Axis | 495 Hz | 305 Hz | 240 Hz |
Bottom Axis | 335 Hz | 240 Hz | 170 Hz | |
Maximum Acceleration (Unloaded)(7) | Top Axis | 600 m/s2 | 370 m/s2 | 210 m/s2 |
Bottom Axis | 320 m/s2 | 160 m/s2 | 90 m/s2 | |
Moving Mass (Unloaded) | Top Axis | 42 g | 56 g | 98 g |
Bottom Axis | 79 g | 126 g | 217 g | |
Max Payload(8) | 1 kg | 1 kg | 1 kg | |
Stage Mass | 0.11 kg | 0.17 kg | 0.27 kg | |
Material | Anodized Aluminum(9) | |||
MTBF (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours | |||
QNP-Z压电纳米定位平台可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级定位分辨率，但又不需要定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。
可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-XY位移台，其中公共行程与转接板一起安装。
机械规格（1）
模型 | QNP40Z-100 | QNP50Z-250 | QNP60Z-500 | |
闭环旅行 | 100微米 | 250微米 | 500微米 | |
开环行程，-30至+150 V （2） | 140微米 | 300微米 | 600微米 | |
解析度（3） | 闭环 | 0.30海里 | 0.50海里 | 0.90海里 |
开环 | 0.15纳米 | 0.20海里 | 0.40纳米 | |
线性度（4,5） | 0.01% | 0.01% | 0.007% | |
双向重复能力（6） | 1纳米 | 1纳米 | 3纳米 | |
俯仰/滚动/偏航 | 15微弧度（3弧秒） | 25微弧度（5弧秒） | 39微弧度（8弧秒） | |
刚度（在运动方向上）（7） | 0.96 N /微米 | 0.40 N /微米 | 0.42 N /微米 | |
空载谐振频率（7） | 1050赫兹 | 510赫兹 | 310赫兹 | |
共振频率（50克负载）（7） | 620赫兹 | 340赫兹 | 260赫兹 | |
加速度（空载）（8） | 530 m / s 2 | 260 m / s 2 | 220 m / s 2 | |
移动质量 | 53克 | 83克 | 234克 | |
有效载荷（7） | 1公斤 | 0.8公斤 | 1公斤 | |
舞台质量 | 0.08公斤 | 0.13公斤 | 0.31公斤 | |
材料 | 阳极氧化铝（10） | |||
MTBF（平均*时间） | 30,000小时 | |||
高控科技 张巨鹏 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8
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