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AALBORG气体质量流量计

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更新时间:2017-05-18 15:12:57浏览次数:406

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产品简介

美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器

详细介绍

AALBORG气体质量流量计

 

美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器

美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上*的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。

产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。

设计特点:
-刚性金属结构 
-流程范围从0开始到10sccm直到01000slpm
-zui大压力500psig34.5Bar 
-泄漏率110-7氦气 
NIST系统标定可追踪的证明 
-可倾斜的LCD读表 
0-5Vdc4-20mA信号输出 
-电路保护 
-可用作便携式的设备 
0100%比例显示 
-可配备流量计算机 

精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和560psia0.44.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。 
重复性:±0.5%满量程 
回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2 
温度系数:0.15%满量程/℃ 
压力系数:0.01%满量程/psi0.07bar 
气体/周围温度:32-122℉(5-50℃) 
输出信号:0-5Vdc,zui小1000Ω4-20mA0-250Ω回路电阻 
传感器输出:+12Vdc;zui大200Ω。+24Vdc可选 
时间恒量:800ms

气体压力:zui大1000psig70bar)。可选20psig1.4bar 
流体接触面材质:AGFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环 
BGFC17S37S47S57S67S77S不锈钢系列:316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。 
方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置 
连接:GFC173714"卡套螺纹VCR®18"卡套可选(GFC17 
GFC4738"卡套螺纹 
GFC5738"卡套螺纹 
GFC6712"卡套螺纹 
GFC7734"卡套螺纹 
VCR®34"卡套可选(GFC77

    

 

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