通常的被动减振体系如图所示，由需要减振的装置（mass M）和一个弹簧阻尼单元组成，它可以 减小来自地板的高频振动。但由于这种体系会在 本征频率时引起共振而增加振动，通常被动减振 体系会设计成 2 Hz 到 5 Hz 的本征频率和 1%到 5%的轻微阻尼。主动减振体系是用一个调节器代替了粘滞阻尼器，根据 sky-hook 阻尼控制理 论，将减振装置（mass M）速度的比例量作 为反馈作用于减振装置，这样大大提高了减振的效果。
较主动隔振系统采用的惯性振动传感器、的控制算法和较的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。
较初设计用于隔离半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中较敏感仪器的行业标准解决方案。
通用应用领域：
扫描探针显微技术 ， 纳米力学探针 ， 扫描电子显微技术 ，共聚焦显微术 ，较高真空扫描隧道显微术， 激光扫描显微镜 ，液晶生产设备 ，半导体检测仪器 ，膜片钳 （Patch-Clamp）技术 ，光学轮廓仪 ，生命科学显示平台 ，显微硬度检测仪，光学干涉仪 ，超微量天平等等
