超低温水汽捕集泵真空深冷机
用于原理：
在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中，空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽，这类残余气体在高真空状态下，抽取难度大、速度慢，而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件，深冷机可有效解决这类问题, 在真空度 10-2 至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，提高真空度、提高产品品质，加快抽速提高生产效率。
在真空室中或油扩散泵的泵口，放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置（盘管或冷阱），通过其表面的深低温冷凝能力，迅速将真空腔体内的残余气体附着，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短50-80%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
超低温水汽捕集泵真空深冷机
永佳真空深冷机不同型号规格
型 号 | ZK-1100D12 | ZK-1100D16 | ZK-1100D16L | ZK-1100D18 | ZK-1100D18L | ||||
功率（KW） | 10 | 14 | 14 | 18 | 18 | ||||
zui大制冷量（W）（-100℃） | 2000 | 3000 | 3000 | 4000 | 4000 | ||||
电 源 | 380V，50HZ | ||||||||
抽速L/S | 149200 | 238200 | 238200 | 372500 | 282000 | ||||
预冷时间（min） | 30 | ||||||||
除霜时间（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤4 | ≤4 | ||||
再降温时间（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ||||
低温管表面积（㎡） | 1 | 1.8 | 1.5 | 2.5 | 2 | ||||
低温管规格 | 20m | 38m | 双路15m | 50m | 双路20m | ||||
冷却方式 | 水冷，水温≤30℃ | ||||||||
冷水流量（t/h） | 1.6 | 2.5 | 2.5 | 3 | 3 | ||||
冷水接口尺寸（mm） | 16 | 16 | 16 | 19 | 19 | ||||
需冷水机功率（HP） | 5 | 8 | 8 | 10 | 10 | ||||
适用油泵直径（mm） | ≤800 | ≤900 | ≤600 | 1000或1200 | ≤800 | ||||
适用真空腔室直径（mm） | ≤1300 | ≤1500 | ≤1000 | ≤1800 | ≤1500 | ||||
永佳真空深冷机适用领域：
1半导体 2太阳能薄膜制程 3光纤市场 4平板显示 5装饰镀膜、卷绕镀膜、光学镀膜
